1、壓力傳感器校準范圍

本檢定規(guī)程適用于測量范圍為（一0.1?500）MPa（表壓、差壓或絕壓）的壓力傳感器（靜態(tài)）的shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

2、引用文件

本規(guī)程引用下列文件:

JJF 1008—2008壓力計量名詞術(shù)語及定義

GB/T 15478—1995壓力傳感器性能試驗方法

GB/T 18459—2001傳感器主要靜態(tài)性能指標計算方法

GB/T 18806—2002電阻應變式壓力傳感器總規(guī)范

GB/T 20522—2006半導體器件第14-3部分：半導體傳感器一壓力傳感器

凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)程。

3、術(shù)語和計量單位

3.1術(shù)語

3. 1. 1 靜態(tài)壓力 static pressure

在所研究的領(lǐng)域內(nèi)，不隨時間變化或隨時間變化而緩慢變化的壓力。[JJF1008一

2008 定義 1. 8]

3. 1. 2 壓力傳感器 pressure transducer

能感受壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出電信號的器件

或裝置。[JJF 1008—2008 定義 5.1]

3.1.3 零點漂移 zero drift

在規(guī)定的條件下和時間間隔內(nèi)，零點輸出值的變化量。

3.1.4 靈敏度 sensitivity

傳感器輸出變化量與相應的輸入變化量之比。[GB/T 18459—2001定義2. 3. 2]

3.1.5 符合度 conformity

正、反行程實際平均特性曲線相對于參比曲線的最大偏差，用滿量程輸出的百分比來表示。[GB/T 18459—2001 定義 2. 3. 6]

3.2計量單位

壓力傳感器使用的法定計量單位為Pa（帕斯卡），或是它的十進倍數(shù)單位：kPa、 MPa等。壓力傳感器的輸出主要有電壓（V、mV）、電流（mA）或頻率（Hz）等。

4、壓力傳感器校準概述

壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖1 所示。

圖1壓力傳感器原理框圖

5、計量性能要求

5.1準確度等級及基本誤差限

壓力傳感器的準確度等級及基本誤差限應符合表1規(guī)定。

表1準確度等級及基本誤差限

5.2重復性壓力傳感器的重復性不得大于基本誤差限的絕對值。

5.3遲滯

壓力傳感器的遲滯不得大于基本誤差限的絕對值。

5.4線性

壓力傳感器的線性的絕對值不得大于基本誤差限的絕對值。非線性壓力傳感器對此不作要求。

5.5零點漂移

壓力傳感器的零點漂移不得大于基本誤差限絕對值的1/2。絕壓傳感器對此不作 要求。

5.6周期穩(wěn)定性

本次檢定的靈敏度與上一周期的靈敏度差值的絕對值，與本次檢定的靈敏度的比值為靈敏度周期穩(wěn)定性，通常以百分數(shù)表示，該值不得大于基本誤差限絕對值。

5.7靜壓影響

靜壓影響只適用于差壓傳感器，靜壓零位變化不得大于基本誤差限絕對值。

5.8曲線符合度

曲線符合度只適用于非定點使用的非線性傳感器，曲線符合度不得大于基本誤差限絕對值。

通用技術(shù)要求

6.1外觀

6. 1.1壓力傳感器的銘牌應完整、清晰，應具有出廠編學、型號規(guī)格、測量范圍等信息；產(chǎn)品名稱、準確度等級、制造廠的名稱或商標、額定工作電壓（或電流）、輸出信 號、最大過載壓力、制造計量器具許可標志及編號等信息可以根據(jù)情況在銘牌上增加，或在附帶的技術(shù)文件中進行完整說明；差壓傳感器的高壓（+或H）和低壓（一或L） 接嘴應有明確的yongjiu性標志。

6.1.2壓力傳感器的配套零部件應完好無損，外觀不應有影響計量性能的銹蝕或損傷。各部件應裝配牢固，不應有松動、脫焊或接觸不良等現(xiàn)象。

6.1.3壓力傳感器的電源輸入端和信號輸出端應有明確的區(qū)別標志，在附帶的技術(shù)文件中應對各端子連線進行完整說明。

6.1.4使用中的壓力傳感器應有上一周期的檢定證書，新制造的壓力傳感器應有出廠合格證書。

6.2密封性

壓力值下降（或上升）不得超過試驗壓力的1%。

6.3絕緣電阻

傳感器各組端子（包括外殼）之間的絕緣電阻應不小于10 MQ。

7、計量器具控制

計量器具控制包括shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。

7.1檢定條件

7. 1-1檢定設備

檢定時所需的計量標準器具及配套設備可按被檢壓力傳感器的規(guī)格，參照表2進行選擇并組合成套。對0.1級以下的被檢壓力傳感器，整套檢定設備檢定時引入的擴展不確定度U應不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/4；對0. 1級和0. 05級被檢 壓力傳感器，由此引入的擴展不確定度U應不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值 的1/3；對0.05級以上的被檢壓力傳感器，由此引入的擴展不確定度U應不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/2 O

表2計量標準器具及配套設備

7. 1.2環(huán)境條件

  a）檢定時的環(huán)境溫度視被檢壓力傳感器的準確度等級而定，應符合表3要求。

表3檢定環(huán)境溫度要求

b） 相對濕度：小于80%；

c） 所處環(huán)境應沒有影響壓力傳感器穩(wěn)定輸出的機械振動和外磁場（地磁場除外）。

7.2檢定項目

壓力傳感器shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查的檢定項目見表4。

表4檢定項目

7. 3檢定方法

7.3.1外觀檢查

用目力觀測，應符合6.1的要求。

7.3.2檢定前準備

7.3.2.1設備的連接與安裝

檢定前，壓力傳感器應在檢定環(huán)境條件下放置2h以上，方可進行檢定。

將壓力傳感器按要求與壓力標準裝置連接，對釆用液體為傳壓介質(zhì)的壓力標準器, 安裝時應排除管路中的空氣。壓力傳感器、激勵電源、讀數(shù)記錄裝置等儀器設備按規(guī)定連接方式連接，使其處于正常工作位置和狀態(tài)。安裝壓力傳感器時，應盡量使壓力傳感器的感壓面與壓力標準器的參考平面在同一水平面上，對于由高度差引起的誤差，可參照附錄A進行修正。

7.3.2.2通電預熱

檢定系統(tǒng)正確安裝、連接后，至少需通電預熱30 min0

7.3.2.3檢定前預壓

對檢定系統(tǒng)加壓至預壓壓力，穩(wěn)定Imin后，緩慢通大氣，連續(xù)進行3次。

預壓壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負表壓傳感器為測量范圍下限或當?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓傳感器及正負壓復合量程傳感器為測量范圍上限和下限（或當?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）兩個壓力點。

7.3.3 密封性檢查

將壓力傳感器和壓力測量儀表安裝在壓力標準器上，平穩(wěn)地升壓（或疏空），使壓力傳感器測量室壓力達到密封性檢查壓力，關(guān)閉壓力源，待壓力穩(wěn)定后，耐壓15 min,在最后5 min內(nèi)通過壓力測量儀表觀察，其壓力值下降（或上升）不得超過試驗壓力的1%。

密封性檢查壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負表壓傳感器為測量范圍下限 或當?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓及正負壓復合量 程傳感器取測量范圍上限和下限（或當?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）偏離當前大氣壓較大者。

差壓傳感器在進行密封性檢查時，高低壓力容室連通，并同時引入額定工作壓力進 行觀察。

7.3.4絕緣電阻檢定

在環(huán)境溫度為15 °C?35 °C,相對濕度為45%?75%時，在被檢傳感器不施加激勵 電源的條件下，用輸出電壓為直流100 V的絕緣電阻表，將電源端子和輸出端子分別短接，用絕緣電阻表分別測量電源端子與接地端子（外殼）、電源端子與輸出端子、輸出 端子與接地端子（外殼）之間的絕緣電阻。測量時，應穩(wěn)定10 s后讀數(shù)。

7. 3.5零點漂移檢定

在規(guī)定的環(huán)境條件下，傳感器通電預熱及預壓后，記錄零點初始輸出值貝，然后每隔15 min記錄一次零點輸出值乂（/ = 1, 2, 3,…），從開始記錄起連續(xù)進行的時間不得少于lh,零點漂移億按公式（1）計算，其值應符合5.5的要求。